超高真空微型光柵尺SMG26

簡要描述：體積小、結(jié)構(gòu)緊湊

超高真空微型光柵尺SMG26特點，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于超高真空使用，良好的耐高溫性，最高可達100℃，SMG26系列光柵的柵距為256μm，下表為不同細分倍數(shù)下的允許速度值，精度高，絕對精度3μm（20℃）

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更新時間：2024-09-23
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產(chǎn)品描述

超高真空微型光柵尺SMG26特點，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于超高真空使用，良好的耐高溫性，最高可達100℃，SMG26系列光柵的柵距為256μm，下表為不同細分倍數(shù)下的允許速度值，精度高，絕對精度±3μm（20℃），采用玻璃柵尺，膨脹系數(shù)小，讀數(shù)穩(wěn)定性良好。分辨率高，配合TF15細分接頭，讀數(shù)分辨率可達1nm。安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。

○體積小，結(jié)構(gòu)緊湊。

○適用于超高真空使用。

○良好的耐高溫性，最高可達100°C。

○精度高，絕對精度±um(20°C)

○采用玻璃柵尺，膨脹系數(shù)小，讀數(shù)穩(wěn)定性良好。

○分辨率高，配合TF15細分接頭，讀數(shù)分辨率可達1nm，

○安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)

TF細分盒信號速度介紹

SMG26系列光柵的柵距為256um，下表為不同細分倍數(shù)下的允許速度值。

超高真空微型光柵尺SMG26

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